爱思强化学气相沉积MOCVDcustomized_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

MOCVD设备是通过将反应物质以有机金属化合物气体分子的形式，经载带气体送到反应室，进行热分解反应而生长出薄膜材料。应用方向：Ga2O3,GaN, InP, GaAs, InSb, GaInNAs, II-VI等。

2. 设备用途/原理

应用方向：Ga2O3,GaN, InP, GaAs, InSb, GaInNAs, II-VI等；

MOCVD设备是通过将反应物质以有机金属化合物气体分子的形式，经载带气体送到反应室，进行热分解反应而生长出薄膜材料；

加热系统：采用钨丝加热，三温区控制，最高温度至1400℃；

反应腔室内托盘与喷淋头间距可调（范围覆盖5 mm至25 mm）；

工艺过程中，具有实时晶圆表面温度和晶圆翘曲度监测功能；

搭载温度监测系统，可实时扫描晶圆温度mapping图。

3. 设备特点

从研发到大规模生产；

衬底尺寸：3x2 inch、1x4 inch、1x3 inch、1x2 inch；

通过载波交换实现：6 x 2 inch、3 x 3 inch、1 x 6 inch；

Ga2O3薄膜生长速率：>3um/h；

Ga2O3薄膜表面粗糙度：5umx5um范围由AFM在Ga2O3衬底上测量 ≤1.0 nm。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供爱思强化学气相沉积MOCVDcustomized，爱思强customized产地为德国，属于进口化学气相沉积设备，除了化学气相沉积MOCVD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	customized
产地：	德国
品牌：	爱思强
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