型号: | customized-22 |
产地: | 其他 |
品牌: | 智程 |
评分: |
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1. 产品概述:
智程中央供药系统是用于厂内供药的设备,能够按照设定的配比,将特定的药液通过相应的管路供应到制程中。它可以精确地控制药液的输送和配比,确保生产过程中使用的药液符合工艺要求。
2. 设备应用:
· 半导体制造:在半导体晶圆制造过程中,为各种清洗、蚀刻、沉积等工艺提供精确配比的化学药液,如酸性(H₂SO₄、HCl、HNO₃、H₃PO₄、HF、BOE 等)、碱性(NH₄OH、NaOH、KOH 等)、有机(IPA、ACE、去胶、去蜡等)以及抛光液(金刚石抛光液、化学抛光液等。
· LED 光电行业:为 LED 芯片的制作过程提供所需的化学药液供应,助力提升 LED 产品的质量和性能。
· 电子行业:在电路板制造等电子制造环节中,提供精确的化学药液供应,保障生产工艺的顺利进行。
3. 设备特点:
· 供药配比精确:能够严格按照设定的比例进行药液调配,确保药液浓度的准确性,从而保证生产工艺的稳定性和产品质量。
· 配方可编辑:配方可以根据客户的具体需求进行编辑和确认,具有较高的灵活性,能满足不同生产工艺对药液配方的多样化要求。
· 容量定制化:容量大小可根据客户的实际需求进行定制,适应不同规模的生产场景,避免资源浪费或供应不足的情况。
· 自动化程度高:实现了自动供药过程,减少了人工操作带来的误差和不确定性,提高了生产效率和供药的及时性。
· 系统稳定性强:经过精心设计和优化,具备良好的稳定性和可靠性,能够在长时间的生产过程中稳定运行,降低设备故障对生产的影响。
4. 产品参数:
· 供药种类:涵盖各种适用药液,如不同类型的酸、碱、有机溶液和抛光液等。
· 配比精度:例如可精确到小数点后几位的配比精度。
· 最大供药流量:反映系统在单位时间内能够供应的药液最大量。
· 储液罐容量:根据定制需求,储液罐的容量有不同规格。
· 控制方式:如采用先进的自动化控制系统,具备精确的参数设置和监控功能。
· 管路材质:使用适合输送化学药液的特殊材质管路,确保药液的稳定性和安全性,同时具备良好的耐腐蚀性。
· 实际参数可能会因设备的具体配置和定制需求而有所不同。
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