分子束外延薄膜沉积系统MBE

分子束外延薄膜沉积系统MBE

参考价:面议
型号: customized-24
产地: 其他
品牌: 沈阳科仪
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产品详情

1. 产品概述

分子束外延薄膜沉积系统MBE 是在超高真空系统中把所需要的结晶材料放入到喷射炉中,将喷射炉加热。使结晶材料形成分子束,从炉中喷出后,沉积在高温的单晶基片上。如果设置几个喷射炉,就可以制取多元半导体混晶,又可以同时进行掺杂。可以精确地控制结晶生长,进行沉积系统中结晶生长过程的研究

2. 设备特点

分子束外延,是在超高真空系统中把所需要的结晶材料放入到喷射炉中,将喷射炉加热。使结晶材料形成分子束,从炉中喷出后,沉积在温度保持在几百度的单晶基片上。如果设置几个喷射炉,就可以制取多元半导体混晶,又可以同时进行掺杂。可以精确地控制结晶生长,进行沉积系统中结晶生长过程的研究

12个源炉:镓、铟、铝、砷、锑、磷、铋、硅、镁、掺杂等

衬底:大4inch

高温度:1000°C 温度均匀性:≤±3°C(4inch)

超高真空下全自动样品转移

用于过程控制和分析的所有现代现场监控功能

一个集群上多7个超高真空功能单元:装载、储存、翻转、处理、排气、生长,外部腔室

可连接其他分析设备或其他:ALD、PLD、PVD、金属化、STM


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供沈阳科仪分子束外延薄膜沉积系统MBEcustomized-24,沈阳科仪customized-24产地为其他,属于国产化学气相沉积设备,除了分子束外延薄膜沉积系统MBE的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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