型号: | customized |
产地: | 美国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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v XY方向扫描范围:90μm x 90μm(典型值),85μm (最小值)
v Z 方向扫描范围:10μm (典型值),9.5μm (最小值)
v 纵向噪音水平:30pm RMS值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达625Hz)
v XY 方向闭环噪音水平:≤0.15nm RMS 值(典型的成像带宽条件最高可达 625Hz)
v Z方向闭环噪音水平:35pm RMS 值(在合适的环境下,典型的成像带宽最高可达 625Hz);50pm RMS 值,力曲线带宽 (0.1Hz 到 5kHz)
v XYZ方向的非线性参数:<0.5%
v 样品尺寸和固定方式:210mm直径,真空吸附,≤15mm 厚
v 马达驱动样品台(X-Y 轴):180mmx150mm 可观测区域;单向2um重复性;双向 3m 重复性
光学系统:5百万像素数字摄像头;180um 至1465um可视区域;数字化缩放,马达驱动聚焦
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