北方华创CCP介质刻蚀机NMC 508系列 CCP_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

NMC 508系列 CCP介质刻蚀机

1、独特的多频解耦设计，实现优异的均匀性及高深宽比介质刻蚀

Unique multi-frequency coupling design, excellent uniformity and high aspect ratio media etching

2、应用领域广泛，涵盖Si power、SiC Power、GaN Power、MEMS、硅光等

Multiple applications, including Si Power, SiC Power, GaN Power, MEMS, Silicon Photonics, etc.

3、工艺种类覆盖前道HM刻蚀、CT刻蚀、Spacer刻蚀，后道Via刻蚀、PAD刻蚀

Variety process, including HM Etch、 CT Etch、 Spacer Etch、Via Etch、PAD Etch

4、灵活的系统配置，适合研发、中试线、大规模生产线的不同应用

Flexible system configuration suitable for different applications such as R&D, pilot line and mass production

5、采用Clean Mode量产，前道、后道均可实现优异的量产稳定性及更高的MTBC

Use clean mode for mass production, excellent production stability and longer MTBC can be achieved for both FEOL and BEOL process

技术参数 Technical Parameters

1、晶圆尺寸 6/8 英寸兼容

2、适用材料氧化硅、氮化硅、氮氧化硅

3、适用工艺钝化层刻蚀、硬掩膜刻蚀、接触孔刻蚀、导线孔刻蚀、侧衬刻蚀、回刻、自对准刻蚀

4、适用领域科研、集成电路、化合物半导体

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供北方华创CCP介质刻蚀机NMC 508系列 CCP，北方华创NMC 508系列 CCP产地为北京，属于国产湿法腐蚀/刻蚀设备，除了CCP介质刻蚀机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	NMC 508系列 CCP
产地：	北京
品牌：	北方华创
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