德国SENTECHAL实时监控器SENTECH AL_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

SENTECH AL 实时监测器是一种经过验证的光学诊断工具，可实现单个 ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要应用是在不破坏真空的情况下分析薄膜特性（生长速率、厚度、折射率以及蚀刻速率），在短时间内开发新工艺，以及实时研究 ALD 和 ALE 周期期间的反应机理。

2. 主要功能与优势

高效的工艺开发和优化

使用单原子层沉积（ALD）或原子层蚀刻（ALE）循环可以快速轻松地开发和优化原子层工艺。SENTECH AL 实时监测器以 40 ms 的超高时间分辨率显示吸附和解吸。节省了工艺、基材、驱体和气体的开发时间。

保存驱体

使用 SENTECH AL 实时监控器进行优化后，ALD 处理变得更加高效。节省了驱体和处理时间。

驱体制品控制

当驱体供应耗尽时，SENTECH AL实时监测器检测到的每个周期的生长变化会立即显示出来。

灵活性和模块化

创新的 SENTECH AL 实时监测器为快速高效的工艺开发和优化而设计，可使用 SENTECH PEALD 和 ALD 系统进行优化。

一个软件即可轻松操作 SENTECH PEALD 系统、SENTECH ALE 系统和 SENTECH AL 实时监测器。

用于光学常数的大型材料库支持新工艺的开发，并可以通过非原位表征进行扩展。

SENTECH AL 实时监控器集成到 SENTECH SIA 操作软件中，确保操作简单。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECHAL实时监控器SENTECH AL，德国SENTECHSENTECH AL产地为德国，属于湿法腐蚀/刻蚀设备，除了AL实时监控器的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	SENTECH AL
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
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