德国SENTECH等离子刻蚀集群系统SENTECH 集群系统_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

SENTECH 集群系统包括等离子体蚀刻和/或沉积模块、一个转移室和一个真空负载锁或盒式站。包括搬运机器人在内的转移室有三到六个端口。多可以使用两个盒式磁带站来提高吞吐量。

2. 主要功能与优势

高产量和高通量

等离子蚀刻和沉积模块可以与多达两个盒式工作站结合使用，以提高可重复性、高产量和高吞吐量处理高达 200 毫米的晶圆。

灵活的流程配置

三到六个端口转移室可用于聚集ICP等离子蚀刻系统、RIE蚀刻系统、原子层沉积系统和ICPECVD沉积工具，以满足研发和生产的要求。样品可以通过真空装载锁和/或真空盒站进行装载。

灵活的承运商处理

SENTECH集群配置适用于处理不同尺寸的晶圆，无需更改硬件，使用允许He-back-backing冷却的载体。不同间距的晶圆盒也是可以互换的

3. 灵活性和模块化

SENTECH 集群配置可用于处理直径从 100 毫米晶圆到直径达 200 毫米的各种基板。

这些系统提供不同别的自动化，从真空盒装载到多六端口集群配置的单工艺腔室，不同的蚀刻和沉积模块提供高灵活性和高吞吐量。

所有SENTECH集群系统均由先进的硬件和SIA操作软件控制，具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的可靠可编程逻辑控制器（PLC）用于所有组件的实时控制。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECH等离子刻蚀集群系统SENTECH 集群系统，德国SENTECHSENTECH 集群系统产地为德国，属于湿法腐蚀/刻蚀设备，除了等离子刻蚀集群系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	SENTECH 集群系统
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
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