型号: | Scaler HK430 |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
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1. 产品概述
Scaler HK430 热原子层沉积系统,填孔能力以及良好的薄膜均匀性。
2. 设备用途/原理
Scaler HK430 热原子层沉积系统,填孔能力以及良好的薄膜均匀性,腔室结构设计,具备良好的防酸腐蚀能力,优化机台结构,缩小占地面积。友好的人机交互和安全性设计保障系统稳定、安全、高效。
3. 设备特点
晶圆尺寸 12 英寸,适用材料 氧化铪、氧化锆、氧化铝,适用工艺 栅介质层、介质层、钝化层,适用域 科研、集成电路、先进封装。
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