型号: | eVictor Al PVD |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
评分: |
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1. 产品概述
eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统,先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率。
2. 设备用途/原理
eVictor Al PVD 铝物理气相沉积系统,先进的磁控溅射系统,有效提高薄膜均匀性及靶材利用率,加热基座和高温静电卡盘设计,具备良好的温度均匀性,全新双腔传输平台,可配置性强,多可支持 10 个工艺模块,优质的 Whisker 解决方案,降低产品缺陷,大产能,低运营成本。
3. 设备特点
晶圆尺寸 8、12 英寸,适用材料 高温铝、氮化钽、氮化钛。适用工艺 热铝、铝焊盘、铝线,适用域 新兴应用。
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