型号: | EPEE系列- |
产地: | 北京 |
品牌: | 北方华创 |
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1. 产品概述
EPEE系列 等离子化学气相沉积系统,单片和多片式架构。
2. 设备用途/原理
EPEE系列 等离子化学气相沉积系统。先进的单片和多片式架构,满足量产和研发客户需求。高效传输系统,智能软件调度算法。高效远程等离子体清洗系统,优异的颗粒控制。支持气态硅烷、液态 TEOS 和碳膜等工艺。支持在线膜厚和清洗终点实时监测。
3. 设备特点
晶圆尺寸 4/6/8 英寸兼容,适用材料 氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅、非晶碳。适用工艺 氧化硅图形化衬底层、钝化层、绝缘层、掩膜层。适用域 科研、化合物半导体、新兴应用、集成电路。
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