主要优点
吞吐量和每片晶圆拥有成本
批量配置中的单片性能,可实现出色的外延层质量
兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长
产品特点
带热晶圆转移的行星式反应器
在生长室中高效利用气体
晶圆级温度控制
晶圆盒到晶圆盒处理
快速外延处理
8x150 mm 配置,单晶圆旋转
AutoSat功能,确保批次内的均匀性
SECS-GEM工厂接
主要优点
吞吐量和每片晶圆拥有成本
批量配置中的单片性能,可实现出色的外延层质量
兼容硅晶圆厂的自动化技术支持碳化硅电源市场加速增长
产品特点
带热晶圆转移的行星式反应器
在生长室中高效利用气体
晶圆级温度控制
晶圆盒到晶圆盒处理
快速外延处理
8x150 mm 配置,单晶圆旋转
AutoSat功能,确保批次内的均匀性
SECS-GEM工厂接口
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供爱思强化合物半导体沉积系统AIX G5 WW C,爱思强AIX G5 WW C产地为德国,属于进口化学气相沉积设备,除了化合物半导体沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。