爱思强化学气相沉积MOCVDG10_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

一、化学气相沉积MOCVD 产品介绍：

1.应用方向：Ga2O3,GaN, InP, GaAs, InSb, GaInNAs, II-VI等等

2. 从研发到大规模生产

3. 衬底尺寸：3x2 inch、1x4 inch、1x3 inch、1x2 inch

4. 通过载波交换实现：6 x 2 inch、3 x 3 inch、1 x 6 inch

5. Ga2O3薄膜生长速率：>3um/h

6. Ga2O3薄膜表面粗糙度：5umx5um范围由AFM在Ga2O3衬底上测量 ≤1.0 nm

二、化学气相沉积MOCVD产品原理及性能：

1.MOCVD设备是通过将反应物质以有机金属化合物气体分子的形式，经载带气体送到反应室，进行热分解反应而生长出薄膜材料

2. 加热系统：采用钨丝加热，三温区控制，最高温度至1400℃

3. 反应腔室内托盘与喷淋头间距可调（范围覆盖5 mm至25 mm）

4. 工艺过程中，具有实时晶圆表面温度和晶圆翘曲度监测功能

5.搭载温度监测系统，可实时扫描晶圆温度mapping图

三、企业简介：

深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供爱思强化学气相沉积MOCVDG10，爱思强G10产地为德国，属于进口化学气相沉积设备，除了化学气相沉积MOCVD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	G10
产地：	德国
品牌：	爱思强
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