VEECOLSA 201 环境控制激光尖峰退火设备_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1.产品概述：

Veeco 的 LSA201 激光尖峰退火（LSA）系统具有与 LSA101 相同的架构，但包括获得利的微室设计，可在扫描激光系统中实现全晶圆环境控制。该微室的独特之处在于它不需要使用真空负载锁。该系统能够运行任何惰性气体的混合物，包括合成气体。LSA201 适用于高 k 金属栅结活化和镍硅化物形成等应用。LSA201 非常适合 20nm 以下的工艺，例如环境控制至关重要的界面工程和材料改性。

2.产品特点

长波长、布鲁斯特角、p 偏振光，可实现佳的芯片内均匀性

闭环温度反馈控制，保持严格的温度控制

布局独立设计，非常适合处理平面和 FinFET 器件

具有灵活停留时间的局部应力场可实现低应力处理并减少晶圆破损。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供VEECOLSA 201 环境控制激光尖峰退火设备，VEECOLSA201 产地为美国，属于退火炉，除了LSA 201 环境控制激光尖峰退火设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多退火炉,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	LSA201
产地：	美国
品牌：	VEECO
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