金属有机化学气相沉积

金属有机化学气相沉积

参考价:面议
型号: Propel HVM GaN
产地: 美国
品牌: VEECO
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1.产品概述:

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系统被设计为一种大批量制造单晶圆反应器簇系统,适用于基于GaN的功率、射频和光子器件。采用单晶圆反应器平台,能够在150和200毫米晶圆上产生高质量外延膜性能,以实现均匀性、可重复性和良率。PropelHVM系统可配置多达6个模块化集群室,以实现最大的生产力和灵活性,是客户、铸造厂或IDM业务的理想选择。

2.产品优势

单晶圆反应器基于VeecoTurboDisc®设计,采用突破性技术,包括IsoFlange™和SymmHeat™,可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从Veeco的单晶圆反应器Propel和K465i™系统转移到PropelHVMGaNMOCVD平台,以实现快速开发到生产周期.

Veeco的Propel™HVMGaNMOCVD系统被设计为一种大批量制造单晶圆反应器簇系统,适用于基于GaN的功率、射频和光子器件。采用单晶圆反应器平台,能够在150和200毫米晶圆上产生高质量外延膜性能,以实现均匀性、可重复性和良率。PropelHVM系统可配置多达6个模块化集群室,以实现大的生产力和灵活性,是客户、铸造厂或IDM业务的理想选择。

单晶圆反应器基于VeecoTurboDisc®设计,采用突破性技术,包括IsoFlange™和SymmHeat™,可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从Veeco的单晶圆反应器Propel和K465i™系统转移到PropelHVMGaNMOCVD平台,以实现快速开发到生产周期


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供VEECO金属有机化学气相沉积Propel HVM GaN ,VEECOPropel HVM GaN 产地为美国,属于化学气相沉积设备,除了金属有机化学气相沉积的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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