金属化学气相沉积MOCVD

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参考价:面议
型号: Propel 300mm GaN
产地: 美国
品牌: VEECO
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Propel™ 300mm全自动单晶圆簇系统是唯一经过行业验证的GaN MOCVD工具,能够在300mm衬底上生产5G RF、Photonic和先进的CMOS器件。

Propel 300mm 系统采用单晶圆反应器平台,能够在 300mm 晶圆上生产一流的高质量外延膜,具有出色的均匀性、可重复性和产量。Propel 300mm 系统可配置多达 3 个模块化集群室,并提供自动化的膜包到膜包处理,以实现最大的灵活性和生产率。

单晶圆反应器基于 Veeco 领先的 TurboDisc® 设计,包括 IsoFlange™ 和 SymmHeat™ 技术,可在整个晶圆上提供层流和均匀的温度分布。客户可以轻松地将工艺从 Veeco 单晶圆反应器 Propel 和 Propel HVM 系统转移到 Propel 300mm GaN MOCVD 系统,以便快速开发到生产。


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供VEECO金属化学气相沉积MOCVDPropel 300mm GaN,VEECOPropel 300mm GaN产地为美国,属于化学气相沉积设备,除了金属化学气相沉积MOCVD的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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