沈阳科仪高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统PLD300_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1.产品概述：

高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统主要由溅射真空室、旋转靶台、抗氧化基片加热台、工作气路、抽气系统、安装机台、真空测量及电控系统等部分组成。

2.设备用途：

高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统用于制备超导薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、超硬薄膜等。广泛应用于大院校、科研院所进行薄膜材料的科研。

3.产品优点：

可对化学成分复杂的复合物材料进行全等同镀膜，易于保证镀膜后化学计量比的稳定。

反应迅速，生长快，通常一小时可获得一定厚度的薄膜。

定向性强、薄膜分辨率高，能实现微区沉积。

生长过程中可原位引入多种气体，对提高薄膜质量有重要意义。

容易制备多层膜和异质膜，通过简单的换靶即可实现

4.真空室结构:

球形结构

真空室尺寸:Ф300mm

限真空度:≤6.67E-5Pa

沉积源:Φ30mm,每次可装4块靶材，可实现公转换靶位；每块靶材可自转，转速5～60转/分；

样品尺寸，温度:1英寸，高800℃

占地面积（长x宽x高）:约1.8米x0.97米x1.9米

电控描述:全自动

工艺:片内膜厚均匀性：≤±5%

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供沈阳科仪高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统PLD300，沈阳科仪PLD300产地为辽宁，属于国产物理气相沉积设备，除了高真空脉冲激光溅射薄膜沉积系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	PLD300
产地：	辽宁
品牌：	沈阳科仪
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