德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

产品概述：

ULTRA半导体光掩模光刻机是门用于成熟半导体光掩模的合格激光掩模机。半导体光掩模用于制造电子设备，包括微控制器、电源管理、LED、物联网（IoT）和 MEMS。

操作
用户界面（软件）	半兼容 GUI
大写入区域	228 x 228 mm² （可根据要求提供其他尺寸）
基板尺寸	4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸和 9 英寸口罩（可根据要求提供更大的和其他基材）

系统特点
光学	0.9 NA物镜低失真紫外光学元件自动校准程序
激光	355nm波长的高功率二管泵浦固体激光器
对焦系统	实时光学自动对焦
对准	摄像系统失真补偿全局和逐场对准边缘检测器
数据路径	实时压缩可扩展的硬件概念输入格式：所有标准格式，例如 GDSII 和 Jobdeck
空间光调制器	频率 350 kHz 数据速率 2.4 GB/s
自动化	全自动口罩处理，带两个大 9 英寸的输送站;可选的 SECS/GEM 协议

系统尺寸	系统 / 电子机架
宽度 [mm]	2995 / 800
深度 [mm]	1652 / 650
高度 [mm]	2102 / 1800
重量 [kg]	3400 / 180

安装要求
电气	400 VAC ± 5%，50/60 Hz，16A，3 相
压缩空气	7 - 10 bar （不含油或其他残留物）

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机，德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机产地为德国，属于进口有掩模光刻机，除了ULTRA 激光掩模光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多有掩模光刻机,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	ULTRA 激光掩模光刻机
产地：	德国
品牌：	德国海德堡
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