牛津仪器等离子增强化学气相沉积PECVDPlasmaPro 100 PECVD_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

设计PECVD工艺模式的目的是要在控制薄膜性能，如折射率、应力、电学特性和湿法化学刻蚀速率的提下，生产均匀性好且沉积速率高的薄膜。

PlasmaPro 100 PECVD 由于电温度均匀性和电中的喷淋头设计，可提供出色的保形沉积和低颗粒生成，允许射频能量产生等离子体。等离子体的高能反应性物质提供高沉积速率，以达到所需的基板厚度，同时保持低压。其双频 13.56MHz 和 100KHz 功率应用于上电，可实现应力控制和薄膜致密化.

高质量的薄膜，高产量和出色的均匀性

电的适用温度范围宽

兼容200mm以下所有尺寸的晶圆

可快速更换硬件以适用于不同尺寸的晶圆

成本低且易于维护电阻丝加热电，高温度可达400°C或1200°C

实时监测清洗工艺，并且可自动停止工艺

2. 特点

将反应物质输送到基材，通过腔室具有均匀的高电导路径，允许使用高气体流量，同时保持低压射频供电喷淋头，具有优化的气体输送功能，通过LF/RF开关提供均匀的等离子体处理，从而可以精确控制薄膜应力高泵送能力，提供宽的工艺压力窗口

通过均匀的高导通路径连接的腔室，将反应粒子输送到衬底

在维持低气压的同时，允许使用较高的气体通量

高度可变的下电

充分利用等离子体的三维特性，在优秀的高度条件下，衬底厚度大可达10mm

电的温度范围宽（-150°C至+ 400°C），可通过液氮，液体循环制冷机或电阻丝加热

可选的吹排及液体更换单元可自动进行模式切换

由再循环制冷机单元供给的液体控温的电

出色的衬底温度控制

射频功率加载在喷头上，同时优化气体输送

提供具有低频/射频切换功能的均匀的等离子体工艺，可精确控制薄膜应力

ICP源尺寸为65mm，180mm，300mm

确保200mm晶圆的工艺均匀性

高抽气能力

提供了更宽的工艺气压窗口

晶压盘与背氦制冷

更好的晶片温度控制

3. 应用范围：

高质量PECVD沉积氮化硅和二氧化硅用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途

用于高亮度LED 生产的硬掩模沉积和刻蚀

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供牛津仪器等离子增强化学气相沉积PECVDPlasmaPro 100 PECVD，牛津仪器PlasmaPro 100 PECVD产地为英国，属于化学气相沉积设备，除了等离子增强化学气相沉积PECVD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	PlasmaPro 100 PECVD
产地：	英国
品牌：	牛津仪器
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