涂胶显影机

涂胶显影机

参考价:面议
型号: KS-FT200/300 前道8/12寸
产地: 辽宁
品牌: 芯源
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产品详情

1.产品概述:
KS-FT200/300系列堆叠式高产能道涂胶显影机,为我司自主研发的突破晶圆道28nm工艺节点及以上工艺制程,适用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多种材料涂覆显影工艺的机台。支持与光刻机联机作业。该系列机台通过各种行业认证,占地面积小、可靠性高、易于维护,满足各种功能芯片制程需求。

2.产品优势:

1. 堆叠式高产能架构,占地面积小

2. 可与光刻机联机,满足工厂自动化需求

3. 配备多段回吸的多腔体共用供胶系统,有效节省光刻胶的用量

4. 选配高精度热板、WEE、AOI等单元部件,满足更高标准工艺需求

5. 核心单元模块化设计,组合方式灵活多变,大限度客制化

3.应用域:

● 逻辑电路

● CMOS射频电路

● 功率器件

● MEMS系统芯片

● 闪存内存                                    

● CIS

● 驱动芯片

● OLED等          


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供芯源涂胶显影机KS-FT200/300 前道8/12寸,芯源KS-FT200/300 前道8/12寸产地为辽宁,属于国产涂胶显影设备,除了涂胶显影机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多涂胶显影设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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