G&P全自动CMP晶圆清洗一体机GNP GPC-300A_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 规格

抛光机部分机头，工作台:30- 200rpm，旋转运动，机头振荡(±15mm)

抛光机尺寸:宽1626 *宽1500 *高1950毫米

重量:约2500公斤压板尺寸:Φ 762毫米(30英寸)，特氟龙涂层铝

压制方式:可变空气

压力电子控制器膜类型:70-350克/平方厘米(1 psi~5 psi)的12"晶圆片

CMP制程:Si CMP、氧化物CMP(BPSG、TEOS、SC)、金属CMP(W、Cu)、STI、PGI等

2. 可添加选项

垫式调理方法:摆头式或摆臂式

单头或双头系统

摩擦力和温度监测系统

3. 清洁

清洗机尺寸:w3050 / d1250 / h1960毫米

重量:约1200公斤电刷尺寸:270(外径)032(内径)320(长)毫米

配置:独立配置4个清洗工位，DIW刀预清洗，2个双面滚刷清洗，N2吹旋漂干

预清洗工位:DIW喷雾清洗，工位间DIW帷幕清洗

辊刷工位

化学：nh4oh（<1%）或DIW

刷型:双面PVA刷

转速:<满量程的±2%范围30~300rpm

化学品供应:4个喷嘴和通过刷子

可用化学:4化学

化学品流量:满量程< 1l /min

DI流量:满量程< 10l /min

转站

旋转速度:高2500转/分

DIW冲洗/ N2吹(可选:强扫)

控制

工艺:自动上片，自动顺序，湿进/干出

程序控制:PC &触摸屏监控，程序可编程，计算机网络可比

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供G&P全自动CMP晶圆清洗一体机GNP GPC-300A，G&PGNP GPC-300A产地为韩国，属于进口化学机械抛光机（CMP），除了全自动CMP晶圆清洗一体机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学机械抛光机（CMP）,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	GNP GPC-300A
产地：	韩国
品牌：	G&P
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