德国SENTECH全自动薄膜质量控制SENTECH SENDURO®MEMS_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

SENTECH SENDURO®MEMS 提供配置灵活性，以满足生产控制和质量控制的要求。该工具可以配置反射法和椭圆偏振法中的μ点测量，以及提供准确测量位置的模式识别。所有测量都可以与边缘抓取技术相结合。

2. 传感器、MEMS 和射频/功率器件生产中的薄膜质量控制

SENTECH SENDURO®MEMS 是一款全自动测量工具，用于传感器、射频/功率器件、SAW 滤波器和 MEMS 生产中的质量控制。该工具使用光谱反射法和椭圆偏振法对薄膜堆叠法进行可靠和精确的测量。晶圆从标准盒中装入，配方进行质量控制测量。该工具设计用于测量薄膜厚度，通过测量薄膜的折射率来控制沉积过程，并为滤光片准备表面修整。

3. 通过边缘抓握技术实现背面保护

在必须进行背面保护的过程中，SENTECH SENDURO®MEMS 可以在不接触背面的情况下测量双面图案晶圆。边缘夹持晶圆处理可用于 100 mm、150 mm 和 200 mm 晶圆。晶圆盒到晶圆盒的自动处理使用机器人、预对准器和 25 槽晶圆盒。单点和多点测量由高达 200 mm x-y 的映射支持

4. 综合薄膜分析软件 SpectraRay/4

SENDURO®MEMS由SENTECH SpectraRay/4软件操作。它在测量各种薄膜和层堆叠方面提供了高度的灵活性，这在传感器和MEMS生产中很常见。SECS/GEM 软件接口选项支持制造执行系统（MES）和 QC 设备（SENDURO®MEMS）之间的通信。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECH全自动薄膜质量控制SENTECH SENDURO®MEMS，德国SENTECHSENTECH SENDURO®MEMS产地为德国，属于关键尺寸测量设备，除了全自动薄膜质量控制的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多关键尺寸测量设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	SENTECH SENDURO®MEMS
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
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