德国SENTECH开盖等离子体沉积系统PECVDSENTECH Depolab 200_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

SENTECH Depolab 200 是基本的等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统，适用于沉积用于蚀刻掩模、膜和电隔离膜以及许多其他材料的介电膜。结合了用于均匀薄膜沉积的平行板电极设计的优点和灵活的直接加载设计。从 2 英寸至 200 毫米晶圆和样品片的标准应用开始。

2. 成本效益

该系统将平行板等离子体源设计与直接负载相结合。

3. 可升级性

根据其模块化设计，SENTECH Depolab 200 可升级为更大的泵送装置、用于应力控制的低频电源和额外的燃气管线。

4. 操作软件

用户友好的强大软件包含在 GUI、参数窗口、配方编辑器、数据记录和用户管理中。

5. 灵活性和模块化

SENTECH Depolab 200 PECVD 系统配置为在高达 400 °C 的温度范围内沉积 SiO2、SiNx、SiONx 和 a-Si 薄膜。该系统特别适用于用于蚀刻掩模、膜、电隔离膜等的介电膜沉积。

SENTECH Depolab 200 由先进的硬件和 SIA 操作软件控制，具有客户端-服务器架构。一个经过充分验证的可靠可编程逻辑控制器（PLC）用于所有组件的实时控制。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国SENTECH开盖等离子体沉积系统PECVDSENTECH Depolab 200，德国SENTECHSENTECH Depolab 200产地为德国，属于化学气相沉积设备，除了开盖等离子体沉积系统PECVD的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

问商家

德国SENTECH化学气相沉积（CVD）SENTECH Depolab 200的工作原理介绍化学气相沉积（CVD）SENTECH Depolab 200的使用方法?德国SENTECHSENTECH Depolab 200多少钱一台?化学气相沉积（CVD）SENTECH Depolab 200可以检测什么？化学气相沉积（CVD）SENTECH Depolab 200使用的注意事项？德国SENTECHSENTECH Depolab 200的说明书有吗？德国SENTECH化学气相沉积（CVD）SENTECH Depolab 200的操作规程有吗？德国SENTECH化学气相沉积（CVD）SENTECH Depolab 200报价含票含运吗？德国SENTECHSENTECH Depolab 200有现货吗？

售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	SENTECH Depolab 200
产地：	德国
品牌：	德国SENTECH
评分：