等离子增强原子层沉积PEALD

等离子增强原子层沉积PEALD

参考价:面议
型号: Fiji
产地: 美国
品牌: VEECO
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1. 用于高研究的先进能力

我们的 Fiji® 系列是一种先进的模块化、高真空热原子层沉积(ALD)系统,专为满足当今快速发展的技术需求而设计。该系列系统以其灵活的架构著称,能够支持多种驱体和等离子体气体配置,使用户能根据具体的沉积要求进行精确调整。这种适应性使得 Fiji® 系列在各种薄膜材料的沉积应用中表现出色,特别适合于半导体、太阳能电池、光电器件以及纳米技术等领域。

作为该系列的最新产品,Fiji G2 是一款下一代 ALD 系统,以其卓越的性能和创新的技术再次提升了原子层沉积的标准。Fiji G2 不仅能够执行热成像沉积,还支持等离子体增强沉积(PEALD),为用户提供更广泛的沉积模式选择。这一特性使得该系统在处理对膜质量和厚度要求极高的应用时,具有更大的灵活性和优势。

Fiji® 系列的直观用户界面使得操作和监控过程变得简单方便,用户可以随时轻松地监控系统状态,并根据需要实时调整配方和处理流程。这种直观性不仅降低了操作复杂度,还大大提高了生产效率,帮助用户快速响应市场需求变化。

2. FIJI的高功能包括:

有的腔室涡轮增压泵系统

改进的等离子体设计

符合人体工程学的操作界面

原位椭圆偏振仪

原位石英晶体微天平

综合臭氧

手套箱接口

Fiji® 提供多达 6 条驱体管线,可容纳固体、液体或气体驱体,以及 6 条等离子气体管线,在紧凑且经济的占地面积中提供了显着的实验灵活性。


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供VEECO等离子增强原子层沉积PEALDFiji,VEECOFiji产地为美国,属于原子层沉积设备,除了等离子增强原子层沉积PEALD的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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