型号: | Fiji |
产地: | 美国 |
品牌: | VEECO |
评分: |
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1. 用于高研究的先进能力
我们的 Fiji® 系列是一种先进的模块化、高真空热原子层沉积(ALD)系统,专为满足当今快速发展的技术需求而设计。该系列系统以其灵活的架构著称,能够支持多种驱体和等离子体气体配置,使用户能根据具体的沉积要求进行精确调整。这种适应性使得 Fiji® 系列在各种薄膜材料的沉积应用中表现出色,特别适合于半导体、太阳能电池、光电器件以及纳米技术等领域。
作为该系列的最新产品,Fiji G2 是一款下一代 ALD 系统,以其卓越的性能和创新的技术再次提升了原子层沉积的标准。Fiji G2 不仅能够执行热成像沉积,还支持等离子体增强沉积(PEALD),为用户提供更广泛的沉积模式选择。这一特性使得该系统在处理对膜质量和厚度要求极高的应用时,具有更大的灵活性和优势。
Fiji® 系列的直观用户界面使得操作和监控过程变得简单方便,用户可以随时轻松地监控系统状态,并根据需要实时调整配方和处理流程。这种直观性不仅降低了操作复杂度,还大大提高了生产效率,帮助用户快速响应市场需求变化。
2. FIJI的高功能包括:
有的腔室涡轮增压泵系统
改进的等离子体设计
符合人体工程学的操作界面
原位椭圆偏振仪
原位石英晶体微天平
综合臭氧
手套箱接口
Fiji® 提供多达 6 条驱体管线,可容纳固体、液体或气体驱体,以及 6 条等离子气体管线,在紧凑且经济的占地面积中提供了显着的实验灵活性。
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