型号: | UNECS系列 |
产地: | 日本 |
品牌: | 爱发科 |
评分: |
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1. 产品概述:
UNECS系列是可以高速、高精度测量薄膜膜厚和折射率的分光椭偏仪。采用的测量方式,实现了高速测量和机体的小型化。
我们的产品阵容包括便携式,自动式和对应真空环境的设备内置式类型。
2. 特点
高速測定
快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱:
波长范围可选标准类型(530nm至750nm)和可见光谱类型(380nm至760nm)。
紧凑型传感器单元:
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成,因此非常轻且紧凑,并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容:
产品阵容应用广泛,包括如便携类型,手动/自动平台类型,大型基板类型,以及支持大气/真空环境的内置类型。
3. 用途
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蚀剂,ITO等)的膜厚,折射率,消光系数的测量
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