科特莱思科磁控溅射镀膜设备LAB Line_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

Kurt J. Lesker Company LAB Line UHV 溅射平台专为磁控溅射沉积应用而设计。为满足 UHV 溅射工艺需求而定制的腔室设计、具有高级编程、负载锁定功能的行业最佳软件控制系统以及用于优化薄膜性能的众多功能是这种创新设计提供的一些优势。®

LAB Line 系列与以下技术兼容：

TORUS 磁控溅射（多达 12 个光源）®
可根据要求提供定制配置

KJLC创新的eKLipse™软件允许用户友好的配方创建以及图形用户界面，该界面对于新的PVD用户来说是直观的，而对于经验丰富的专业人士来说则是高级的。有关此直观、可靠的软件包的更多信息，请参阅“软件”选项卡。

应用：

R&D 溅射沉积
微电子学（金属、金属氧化物、电介质）
数据存储（磁性薄膜）
磁性隧道结
超导材料
约瑟夫森交界处
光学薄膜和光子学

LAB Line 是 Kurt J. Lesker 的 UHV 磁控溅射平台。

只有 KJLC 提供 Mag-Keeper 溅射源，该溅射源在阴极体中具有零 O 形圈和磁耦合靶材，可轻松更换靶材。我们的冷却井设计可在高达 200 瓦/英寸的功率密度下运行2.该阴极设计用于溅射厚达 0.375 英寸的目标。如果没有压紧夹或暗空间屏蔽，这种阴极能够运行低至 1mTorr（取决于材料）。圆顶百叶窗设计消除了标准翻转或摆动百叶窗所需的额外交叉污染屏蔽需求。

单击以了解有关溅射速率和均匀性的更多信息。

LAB Line 专为实现最佳均匀性而设计，并允许。左边的图表显示了按沉积类型和衬底晶圆直径划分的平均预期均匀性。使用轮廓仪或光谱反射仪进行厚度测量。实际可实现的均匀性将取决于系统和过程参数的最终配置。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供科特莱思科磁控溅射镀膜设备LAB Line，科特莱思科LAB Line产地为美国，属于进口物理气相沉积设备，除了磁控溅射镀膜设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	LAB Line
产地：	美国
品牌：	科特莱思科
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