型号: | MPS150系列 |
产地: | 美国 |
品牌: | Formfactor |
评分: |
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1. 产品概述:
探针台是一种精密的电子测试设备,主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。它广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量,旨在确保产品质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台通常由载物台(样品台)、光学元件、卡盘、探针卡、探针夹具及电缆组件等部分组成,其核心部件包括x-y工作台,该工作台的结构对探针台的性能和使用体验有重要影响。
2.设备用途/原理:
晶圆检测:在半导体制造过程中,探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测,确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试,实现更加精确的数据测试测量。
芯片研发和故障分析:探针台可用于芯片研发过程中的原型验证和性能评估,帮助工程师及时发现和解决潜在问题,优化芯片设计。同时,它也可用于芯片的故障分析,定位问题区域。
封装检测:在封装工艺之前,探针台用于对芯片进行CP测试(Chip Probing Test),确保封装前的芯片性能符合标准。
其他应用:探针台还广泛应用于光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等领域。
3.设备特点
1 高精度定位:探针台配备高精度的定位系统和微调机构,能够精确地将探针定位到芯片上的指定测试点,并实现稳定的接触,确保测试的准确性和可靠性。
2 多功能性:探针台支持多种测试需求,包括电压、电流、电阻、频率、温度等参数的测量,以及小电流量测、电容量测、高压量测、R/F量测、I/O点量测等。
3 高效测试:探针台支持多点测试,能够同时测试芯片上的多个测试点,提高测试效率。此外,一些先进的探针台还具备自动化功能,能够自动完成测试序列,进一步减少人工干预。
4.设备参数
可移动压板,高度调节 40 mm,接触/分离行程 200 μm,重复精度± 1 μm
具有可调摩擦力和阶段锁定的卡盘阶段,独特的Z轴卡盘调整和90毫米的拉出
磁性定位器具有 1 μm 特征分辨率和 3 个带精密滚珠轴承的线性轴
包括匹配的电缆和基材
射频卡盘 ±3 μm 表面平面度
独特的 200 μm 压板接触/分离行程,精度≤± 1 μm,可实现可重复接触
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