科特莱思科沉积和金属化系统Mini SPECTROS_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

Kurt J. Lesker Company Mini SPECTROS™是基于主力SPECTROS平台的下一代薄膜沉积系统。SPECTROS平台在全球拥有100多台设备，是一种成熟、坚固和多功能的设计。Mini SPECTROS建立在原始设计的成功基础上，改进了系统基础压力和抽空时间。技术的腔室设计、具有高级编程功能的行业最佳软件控制系统、实时配方线程操作以及用于优化薄膜性能的众多功能，这些都是这种创新的设计提供的一些关键优势。®

Mini SPECTROS™与以下技术兼容：

1cc 或 10cc LTE 信号源（除热源外，最多 4 个信号源）
4 英寸热源（除 LTE 源外，最多 4 个源）
TORUS 磁控溅射源（最多 6 个 2“ 或 3” 离子源）®
电子束蒸发源（4口袋8cc，8口袋12cc，6口袋20cc）
上述技术的组合也可用。
可根据要求提供定制配置

TORUS离子源在典型的溅射压力（< 20 mTorr）下运行，并利用硅晶圆进行沉积。氧化硅®2目标运行射频功率，膜厚 >=500Å。铝目标使用直流电源运行，膜厚 >=1500Å。Ni Target 使用高强度 TORUS 和直流电源运行，膜厚 >=1500Å。®

KJLC 电子束沉积运行利用 Si 晶圆进行沉积。Ti蒸发材料，膜厚>=1500Å。

所有薄膜均在正确校准的轮廓仪、反射仪或椭圆仪（如果适用）上进行测量。
测量点从基板的中心开始，然后每 0.5 英寸（12.7 毫米）径向外径向外，标称值（右侧参考图）。
均匀性计算公式为：（（最大 - 最小）/（2 x 平均值）） x 100%，带 0.2 英寸（5mm）边缘排除

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供科特莱思科沉积和金属化系统Mini SPECTROS，科特莱思科Mini SPECTROS产地为美国，属于物理气相沉积设备，除了沉积和金属化系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

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产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

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信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Mini SPECTROS
产地：	美国
品牌：	科特莱思科
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