鲁汶8英寸电感耦合等离子体化学气相沉积设备Shale® C 系列

产品详情

1. 产品概述

Shale® C系列电感耦合等离子体化学气相沉积设备（ICP-CVD）是一款先进的薄膜沉积设备，它结合了电感耦合（ICP）和电容耦合（CCP）技术，为用户提供了一种高效、可靠的薄膜沉积解决方案。

该设备通过高密度等离子体的产生，实现了极低的沉积温度，这不仅能够保护基材，减少热损伤，还能确保薄膜的高致密性与优异的填充能力。该工艺适用于多种材料的沉积，尤其是在对薄膜质量有高要求的应用中表现优越。

此外，Shale® C系列设备采用了符合国际标准的零部件，这些组件是8英寸产线设备中的常用标准部件，确保了设备的兼容性与可维护性。设备的设计遵循SEMI的严格标准，确保其在半导体行业中的稳定运行及高度可靠。

在产品性能方面，Shale® C系列经过了一系列严格的稳定性和可靠性测试，验证了其在长时间连续运行下的表现。这使得该设备成为高端制造过程中的理想选择，适合用于大规模生产和研发实验。

2. 系统特性

可在低温（<120°C）下沉积高致密薄膜，其致密性不亚于LPCVD在750°C生长的薄膜

可有效降低等离子体损伤，从而降低漏电，漏电流密度与原子层沉积（ALD）制备的薄膜相当

可提供高深宽比薄膜填充工艺

可选8/6英寸电，适用于不同尺寸的晶圆

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供鲁汶8英寸电感耦合等离子体化学气相沉积设备Shale® C 系列，鲁汶Shale® C 系列产地为江苏，属于化学气相沉积设备，除了8英寸电感耦合等离子体化学气相沉积设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多化学气相沉积设备,客服电话，售前、售后均可联系。

问商家

鲁汶化学气相沉积（CVD）Shale® C 系列的工作原理介绍化学气相沉积（CVD）Shale® C 系列的使用方法?鲁汶Shale® C 系列多少钱一台?化学气相沉积（CVD）Shale® C 系列可以检测什么？化学气相沉积（CVD）Shale® C 系列使用的注意事项？鲁汶Shale® C 系列的说明书有吗？鲁汶化学气相沉积（CVD）Shale® C 系列的操作规程有吗？鲁汶化学气相沉积（CVD）Shale® C 系列报价含票含运吗？鲁汶Shale® C 系列有现货吗？

售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Shale® C 系列
产地：	江苏
品牌：	鲁汶
评分：