鲁汶气相分解金属沾污收集（VPD）设备Seehund® A 系列_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述：

Seehund® A型气相分解金属沾污收集设备（VPD）是一款专门为集成电路制造、大晶圆生产及再生、先导工艺研发等领域提供高效金属沾污控制解决方案的先进设备。随着晶圆制造产业的迅速发展，对金属沾污控制的要求日益严格，而传统的测量方法如TXRF（全反射X射线荧光）和ICP-MS（Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）所能达到的测量限已经无法满足这一行业的需求。因此，VPD的出现，正是为了解决这一亟待突破的技术瓶颈。

该设备通过在晶圆表面金属沾污物质进行有效富集，显著提高了检测的灵敏度，使得用户能够在更低的浓度水平下对金属沾污进行精准测量，从而确保了晶圆产品的质量和可靠性，极大地满足了现代化晶圆生产线的各项需求。

VPD设备不仅采用了12英寸及8英寸产业线设备普遍使用的国际标准零部件，还严格遵循了SEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）的设计标准。这些标准及其相关认证确保了设备的兼容性及可操作性。同时，VPD经历了严苛的稳定性和可靠性测试，确保在各种复杂的生产环境中持久高效地运作。通过这些设计与测试，该设备能够为客户提供强有力的技术支持，使他们在竞争日益激烈的市场中始终保持领先地位。

气相分解金属沾污收集（VPD）设备

2. 系统特性：

12英寸/8英寸兼容，应用于IC制造，12英寸大晶圆生产和再生，先导工艺研发等域

采用托盘可实现6英寸兼容

可搭配电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）或全反射荧光光谱分析仪（TXRF）

VPD 与 ICP-MS或TXRF组合，可将检测灵敏度提高2个数量，满足上述域的痕量金属沾污监控需求

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供鲁汶气相分解金属沾污收集（VPD）设备Seehund® A 系列，鲁汶Seehund® A 系列产地为江苏，属于其他，除了气相分解金属沾污收集（VPD）设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他,客服电话，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	Seehund® A 系列
产地：	江苏
品牌：	鲁汶
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