自动薄膜沉积簇工具

自动薄膜沉积簇工具

参考价:面议
型号: OCTOS™
产地: 美国
品牌: 科特莱思科
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Kurt J. Lesker Company OCTOS集群工具是经过验证的研发和中试生产系统,用于在多个工艺室之间进行真空传输。®

典型应用包括磁隧道结和自旋逻辑器件(GMR、TMR、MRAM、STT)、有机发光器件(OLED)、太阳能电池(PV、OPV)。

OCTOS 集群工具具有单个或多个基板盒负载锁定功能,并允许在真空中完成工艺配方步骤,而无需将基材暴露在大气中。OCTOS能够自动按顺序处理基材,一次处理一个基材,或者并行处理基材,以提高产量。提供底物跟踪功能,并标配全过程数据记录。

工艺室围绕中央机器人分配室布置,以适应您的应用。

KJLC 的 eKLipse 软件允许用户友好的配方创建以及可靠、不间断的控制器,无论计算机用户界面的状态如何,都可以完成过程。有关此直观、可靠的软件包的更多信息,请参阅“软件”选项卡

自 1999 年以来,KJLC 一直在制造 OCTOS 集群工具平台。我们的大多数 OCTOS 集群工具已成为其所有者的主力军,并且仍在日常使用,包括已经处理了超过 100 万个基材的工具。

提供的技术:

  • 电子束蒸发

  • 热蒸发

  • 磁控溅射

  • 有机蒸发

  • 原子层沉积

选项:

  • HV 或 UHV 工艺模块

  • 等离子清洗

  • 基板退火

  • 口罩储存和原位口罩更换

  • 手套箱集成

  • 定制工艺模块

  • 转移到真空分析室,如XPS

  • 与第三方工艺室(如 PLD 或 CVD)集成



深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供科特莱思科自动薄膜沉积簇工具OCTOS™,科特莱思科OCTOS™产地为美国,属于进口物理气相沉积设备,除了自动薄膜沉积簇工具的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多物理气相沉积设备,客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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