中科艾科米ACME电子束蒸发源EBE35A1EBE35A1-H1M210-K_价格-中科艾科米（北京）科技有限公司

ACME电子束蒸发源EBE35A1

参考价：面议

型号：

EBE35A1-H1M210-K

产地：

北京

品牌：

中科艾科米

评分：

产品详情

主要特点

超高真空兼容

蒸发温度不小于3000℃

精确的线性推进：0.01mm精度，25mm行程，专利设计

内置挡板，不受空间限制完全打开

可靠的束流监控，有效避免外界电磁场影响

填料方便快速

产品应用

表面科学
超薄膜层
多分子层
掺杂
样品制备
密接金属化

技术参数

EBE-drawing 450X450 cn.jpg

安装法兰	DN40CF (O.D. 2.75” )
烘烤温度	200℃
腔内直径	34mm
腔内长度	210 mm标准长度，170mm_~400mm可选长度
源数量	1
样品类型	棒材，颗粒，粉末（可供坩埚）
冷却方式	内部水冷, 1L/min
束流监控范围	0.1nA_~1mA
灯丝电流	0_~7A (10mA step)
加速电压	0_~2000V
输出功率	250W
束流发散度	±6°
蒸发温度	≥3000℃
坩埚尺寸	0.1cc
坩埚材料	钨，钼，钽，石墨，可定制其他材料
棒材尺寸	直径2~4 mm，长度30~60mm

电子束型号.png

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