型号: | HF-SPM |
产地: | 北京 |
品牌: | 中科艾科米 |
评分: |
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主要特点 / MAIN FEATURE
● 业界首创的闭循环无液氦制冷方式,样品温度低于4K,运行成本低,降温速度快
● 高刚性SPM探头,极低振动水平与高的温度稳定性媲美液氦杜瓦型系统
● 兼容qPlus AFM
● 支持五电极样品托,可实现变温的电学运输测试
● 可选光学通道,适用于光学实验
● 可SPM腔内原位沉积
● 可直接使用制冷剂(液氮/液氦)降温,实现快速降温及宽工作温区
● 易于安装,可将基于液氦杜瓦的湿式低温STM系统升级为闭循环无液氦制冷方式
STM系统性能测试数据 / STM TEST DATA
技术参数 / TECHNICAL DATA
SPM探头 |
兼容qPlus AFM |
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工作温度 |
4~300 K |
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室温降至最低温时间 |
约7 h |
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X/Y/Z粗移动范围 |
≥2×2×5 mm |
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X/Y/Z扫描范围 |
≥4×4×1 μm@±220 V RT |
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≥1.5×1.5×0.4 μm@±220 V LT |
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分辨率 |
亚纳米级分辨率 |
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温度漂移 |
Z方向热漂移:≤20 pm/h@4K |
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XY方向热漂移:≤100 pm/h@4K |
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温度稳定性 |
±1 mk@恒温实验室环境 |
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振动水平 | <2 pm | |
最小扫图电流 | <2 pA(外置前置放大器) | |
样品台 |
运动方式 |
三维运动、轴向旋转、样品面内旋转 |
温度范围 |
-150℃~室温(LN2冷却);室温~1000℃(E-Beam加热) |
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蒸发源 |
DN40CF 5个、DN63CF 1个(其他需求可按需定制) |
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可选项 |
光学通道,适用于光学实验 |
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反射式高能电子衍射仪 |
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低能电子衍射仪 |
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