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牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统
牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀
ESA 是一家成立于1992年专注于老化板设计、制造的公司,公司拥有21,000平方尺(约1950平方米)厂房,是业内少有的从设计到制造到调试一体化完成的公司。可以配合多种老化设备:MCC,DI,Advantest,Aher,Incal,STK等可以配合多种HAST/THB设备:ESPEC,Hariyama等
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