EFEM 全自动电阻率/迁移率测试仪

EFEM 全自动电阻率/迁移率测试仪

参考价:面议
型号: EFEM 全自动电阻率/迁移率测试仪
产地: 江苏
品牌: 卫水
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EMEF FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY\

MOBILITY TESTER

EMEF全自动电阻率\迁移率测试仪

产品描述

       EFEM(半导体设备前置模块)从属于半导体生产设备,其内部主要由晶圆装载模块、空气过滤器FFU、

晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆读码装置、自动化控制模块等组成。其中晶圆装系统(Loadport)、晶

圆运输机器人(Robot)、晶圆对准装置(Aligner)和晶圆读码装置(OCR)是最核心的四大部件。


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