型号: | EFEM 全自动电阻率/迁移率测试仪 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 卫水 |
评分: |
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EMEF FULLY AUTOMATIC RESISTIVITY\
MOBILITY TESTER
EMEF全自动电阻率\迁移率测试仪
产品描述
EFEM(半导体设备前置模块)从属于半导体生产设备,其内部主要由晶圆装载模块、空气过滤器FFU、
晶圆运输机器人、晶圆对准装置、晶圆读码装置、自动化控制模块等组成。其中晶圆装系统(Loadport)、晶
圆运输机器人(Robot)、晶圆对准装置(Aligner)和晶圆读码装置(OCR)是最核心的四大部件。
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