产品描述
设备主要利用涡电流测试原理,非接触测试半导体材料,石墨烯,透明导电膜,碳纳米管,金属等材料的方阻(电阻率)。
可实现单点测试,亦可以实现面扫描的测试功能,可用于材料研发及工艺的监测及质量控制。
特点
本仪器为非接触,非损伤测试,具有测试速度快,重复性佳,测试敏感性高,可以直接测试产品片。
晶圆电阻率测试仪
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