适应工件:2~12寸晶圆片清洗
批量产能:25PCS/批
工艺流程:Cu蚀铜→-QDR→QDR←QDR-Ti刻蚀
工艺槽功能:循环过滤+加热冷却+上下抖动+花篮提升
主要材料:金属骨架+PVC/PPW壳板,槽体采用PPN/PVDF材质
运送方式:手动传送
节拍时间:5-15min可调
超声、兆声波清洗
酸碱腐蚀机
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