晶片规格:
2-12〞单、双cassette
主要材料:
金属骨架+PP/PVC壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE
/不锈钢/石英
工艺槽功能:
循环过滤+加热冷却+供液
节拍时间:
5-30min可调
设备类型:
手动/半自动/全自动(定制)
晶圆清洗机
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