型号: | XYZ/XYZT/XYZ3T |
产地: | 上海 |
品牌: | 频标科技 |
评分: |
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该系列产品包含堆叠式XYZ Stage、堆叠式XYZT Stage(Stacked XYZT Stage)、堆叠式XYZ3T Stage(Stacked XYZ3T Stage)
类别 | 描述 |
堆叠式XYZ Stage | 平台特性
平台概要 堆叠式XYZ 系统,采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念,将MZ-10Stage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上,能实现X、Y 和Z轴3 自由度的高精度、高刚度直线运动。其中,MZ-10 Stage 标准模组采用了大行程磁浮重力补偿技术,具有降低垂向电机的载荷,极大地提高了垂向运动性能和寿命的功能。可实现高精度上下方向定位的升降。十字平台Cross XY Stage模组采用集成式、正交性设计理念,具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等,以及晶圆划线和晶圆激光退火等。 |
堆叠式XYZT Stage(Stacked XYZT Stage) | 平台特性
平台概要 堆叠式XYZ 台采用模块化、超薄设计、正交性设计等理念,将MZT-24-CRGStage 标准模组集成在十字平台Cross XY Stage 模组之上,能实现X、Y 和Z轴3 自由度的高精度、高刚度直线运动。其中,MZT-24-CRG Stage 采用旋转运动平台和垂向运动创新性的在轴向进行耦合的设计思想,具有紧凑扁平的轮廓尺寸,能实现Rz/Z 轴2 自由度的高精度、高刚度运动无限制旋转。十字平台Cross XY Stage 模组采用集成式、正交性设计理念,具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2 自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等,以及晶圆划线和晶圆激光退火等。 |
堆叠式XYZ3T Stage(Stacked XYZ3T Stage) | 平台特性
垂向磁悬浮重力补偿,可实现极高定位精度
平台概要 堆叠式XYZ3T 台采用模块化、超薄设计、正交性设计等的理念,将MZ3T标准模组集成在XYY 堆叠式水平运动模组之上,能实现X、Y、Rx、Ry、Rz和Z 轴6 自由度的高精度、高刚度运动。其中MZ3T 标准模组采用紧凑设计技术,集成了Z、Rx、Ry 和Rz 轴,具有拥有优异的定位精度、平面度、直线度、刚性和重复性精度的功能。垂向采用了独有的磁浮重力补偿技术,降低了垂向音圈电机的载荷,极大地提高了垂向运动性能和寿命。XYY 堆叠式水平运动模组采用集成式、正交性设计理念,具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现水平向X/Y 轴2自由度的高精度、高刚度直线运动。可广泛应用于晶圆生产控制应用,例如薄膜计量、关键尺寸检查等,以及晶圆划线和晶圆激光退火等。特别适用于特定大型面板/基体上的倒晶封装。 |
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