型号: | FS 5610 |
产地: | 奥地利 |
品牌: | -- |
评分: |
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规格:
X, Y载台 | 工作区域100×115mm 分辨率0.25um,重复性<2um |
Z轴行程 | 60mm |
速度 | 所有轴均可编程控制0.2-16mm/s;30wires/min |
键合头 | 金球键合 逆变式打火杆 |
超声尺寸 | F&S标准60KHz,可选100KHz |
金丝尺寸 | 直径17.5-50um |
工件夹具:
标准:可放4 " x 4"样品带机械夹,真空/加热
可选:可放80mm样品带机械夹真空/加热
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