工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列

工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列

参考价：面议
型号： 工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列
产地： 上海
品牌： 晶诺微
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爱蛙科技
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产品详情

 

应用于集成电路芯片制造生产线上的光学膜厚测量设备，适用于6、8、12吋生产线，产品技术成熟，测量精度高，测量速度快，技术上已达到国际同类竞争产品水品，可实现纳米级厚度测量。

S系列.png

 

产品特点

 

  • 适用于150mm、200mm、300mm晶圆、碳化硅及MicroLED等领域

  • 适用于Open cassette、SMIF、FOUP样品装载接口

  • 可见、紫外及红外SE测量系统及SR测量系统

  • 单层膜厚、折射率及吸收系数测量以及多层膜测量 

  • 超高产能，可达每小时120片

  • 超高精度，可达0.005nm（3倍标准偏差）

  • 多图案识别定位功能

  • 无图案样品精确定位功能

  • Waferless recipe功能

 

产品参数

 

S系列参数.png


爱蛙科技为您提供晶诺微工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列，晶诺微工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列产地为上海，属于国产光学薄膜测量设备，除了工业在线膜厚测量设备 QUASAR-S系列的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多光学薄膜测量设备,爱蛙科技客服电话400-860-5168转5895，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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