普洛帝液体颗粒计数器软件功能介绍

2024-04-26 10:04 下载量：0

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为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控？电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品，主要用于去除晶圆片上残留的金属和有机物杂质，质量要求高，产品中金属离子须达到 ppt 级目前，我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口，严重制约我国芯片产业发展，是主要“卡脖子”产品之一。近两年，我国电子级硫酸制备技术取得突破，产品质量显著提高，电子级硫酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt，超越了国际 SEMI-C12（金属离子<100ppt）级别，与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一级（金属离子）

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文献贡献者

普洛帝流体颗粒管控事业部

银牌会员 | 第2年

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