高精度晶圆对位平台
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优选

高精度晶圆对位平台

参考价：面议
型号： NP-VCM-XYR-10B
产地： 山东
品牌： 阿米精控
评分：
核心参数
阿米精控科技（山东）有限公司
金牌会员 丨 1年
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产品详情

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      阿米精控高精度晶圆对位平台采用音圈电机直接驱动的并联机械结构设计，实现X方向和Y方向直线运动和θZ轴旋转运动。具有速度快、刚度高、承载能力强等优点。内置超精密光栅位移传感器实现全闭环解耦控制，运动分辨率<50nm,重复定位精度±100nm,满足工业产线上高精度、高频率的对位、绑定、贴合、组装等应用需求。




性能参数：

· XY向行程：±10mm

· Rz行程：±3°

· 重复定位精度：±100nm

· 负载:10kg

· 自重：17kg


平台特点：

  • 高精度

  • 频率高

  • 行程大

  • 承载大

  • 响应快



应用场景：

  • 纳米压印技术

  • 限位操作

  • 视觉伺服

  • 激光加工

  • 光学对准测量



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阿米精控科技（山东）有限公司为您提供阿米精控高精度晶圆对位平台NP-VCM-XYR-10B，阿米精控NP-VCM-XYR-10B产地为山东，属于国产其他晶圆缺陷检测设备，除了高精度晶圆对位平台的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多其他晶圆缺陷检测设备,阿米精控客服电话400-860-5168转6164，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 60天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后7天内
  • 电话支持响应时间： 48小时内
  • 是否提供维保合同： 否
  • 维修响应时间： 15天内
  • 节假日是否提供上门服务： 是
  • 核心零部件货期： 90天
  • 是否支持上门巡检： 否
  • 是否提供预防性维护计划： 否
  • 维修付款方式： 先付款后维修
  • 基本维修资料公开： 维修图纸；技术参数；维修手册
  • 无理由退换货： 不支持

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