洁净区域的气流流型检测

天津盛源科技有限公司

气流流型及流向验证的目的是确认气流流型、方向及其均匀性与设计和性能技术要求相符。

一、气流流型验证

洁净室中的气流流型分为两大类：单向流（层流）和非单向流（紊流/乱流）。验证气流流型的主要方法有示踪剂法和示踪线法，即使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向。发烟源可使用超声波雾化（0.5μm~50μm水雾）的DI水，在高强度光源下进行示踪。

1、布点数量及位置

气流类型	垂直单向流	水平单向流	非单向流
布点数量	4个	5个	至少3个
布点位置	• 纵剖面1个 • 横剖面1个 • 距地面高度0.8m水平面1个 • 距地面高度1.5m水平面1个	• 纵剖面1个 • 工作区高度水平面1个 • 距送风墙面0.5m横剖面1个 • 距回风墙面0.5m横剖面1个 • 房间中心出横剖面1个	• 代表性送风口中心纵剖面1个 • 代表性送风口中心横剖面1个 • 工作区高度水平面1个 • 两个风口之间的中线上

2、测定方法

使用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察和记录气流流向，配合高强度光源示踪。

二、气流流向验证

1、气流流向检测方法分为以下四种：

• 示踪线法

• 示踪剂法

• 采用图像处理技术的气流显形检查

• 借助速度分布测量的气流显形检查

2、使用示踪剂法时，可采用与测定气流流型同样的方法，观测定向流流向并记录。可分段接力发烟，目测绘制或摄影、摄像。

三、检测周期

• 气流流型的检测周期无明确要求。

• 气流流向（定向流）的最长检测间隔时间不宜超过12个月。

四、相关标准

• ISO 14644-3:2019

• GB 50591-2010

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