型号: | DEKTAK150 |
产地: | 德国 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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Dektak 150 台阶仪
集40多年的探针轮廓技术创新于一身,该系统在行业内的表现遥遥领先,以重现性最佳和标准扫描范围最大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项,用于程序化测量、低探针力表征和细节分析
台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪(探针式)
规格:
测试技术:探针轮廓技术
测试功能:二维表面轮廓测试
样品视场:640*480像素,USB;17 inc 平板显示器
探针传感器:低惯量传感器(LIS 3)
探针压力:使用LIS 3传感器:1至15 mg
使用N-lite传感器:0.03至15 mg
探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm至25 um;
高径比针尖:10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台:手动X/Y/@:100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;
可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;
可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;
1um重现率,0.5 um 分辨率
计算机系统:主机使用celeron或者semprom处理器
软件:Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置:可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点最多12万数据点
最大样品厚度高达90 mm (4英寸),取决于配置
最大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6埃
垂直范围:标准524um(0.02英寸);可选1mm
垂直分辨率:最大1A(6.55um垂直范围下)
尺寸:292 mm *508 mm*527 mm
重量:34 kg
电源要求:
输入电压: 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
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