型号: | DektakXT |
产地: | 广东 |
品牌: | 布鲁克 |
评分: |
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规格:
测量技术:探针轮廓仪DEKTAK XT
测量功能:二维表面轮廓测量/可选三维测量
样品视景:可选放大倍率,1to4mmFOV
探针传感器:低惯量传感器(LIS3)
探针压力:使用LIS3传感器:1至15mg
探针选项:探针曲率半径可选范围:50nm至25μm;高径比(HAR)针尖:10μm×2μm和200μm×20μm;可按客户要求定制针尖
样品X/Y载物台:手动X-Y平移:100mm(4英寸);机动X-Y平移:150mm(6英寸)
样品旋转台:手动,360°旋转;机动,360°旋转
计算机系统:64-bit多核并行处理器,Windows7;Optional23英寸平板显示器
软件:Vision64操作及分析软件;应力测量软件;缝合软件;三维扫描成像软件
减震装置:减震装置可用
扫描长度范围:55mm(2英寸)
每次扫描数据点:最多可达120000数据点
最大样品厚度:50mm(2英寸)
最大晶圆尺寸:200mm(8英寸)
台阶高度重现性:<4埃,1sigma在1μm垂直范围下)
输入电压:100-240VAC,50-60Hz
温度范围,运行范围:20到25℃
湿度范围:≤80%,无冷凝
系统尺寸及重量:455mmW×550mmD×370mmH(17.9in.W×22.6in.D×14.5in.H);34公斤(75磅);附件:550mmL×585mmW×445mmH(21.6in.L×23in.E×17.5in.H);21.7公斤(48磅
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