AXIC等离子去胶机，等离子清洗机PlasmaSTAR 200

AXIC等离子去胶机，等离子清洗机PlasmaSTAR 200

参考价：面议
型号： PlasmaSTAR 200
产地： 美国
品牌： 埃斯科
评分：
核心参数
南通宏腾微电子技术有限公司
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AXIC PlasmaSTAR®

桶状等离子体处理的独特模块化方法

Axic公司的PlasmaSTAR®系列等离子体处理系统定义了桶状等离子体处理的新概念。该系统基于模块化设计概念。从通用基础单元开始，多个电极模块可轻松插入基础单元。您会发现易用性，各种等离子工艺，可维护性和有吸引力的价格是任何其他等离子无法超越的。


可互换电极模块

多种电极配置:笼，托盘，RIE，下游

经过验证的工艺配方

经过现场验证的组件

端点检测(可选)

自动射频匹配

下游压力控制(可选)

计算机控制

触摸屏操作

多种泵送方案


PlasmaSTAR 100

系统描述

在等离子体加工的研究、工艺开发和生产中，对高度通用和可靠的工具的需求一直是相当大的。随着等离子体研究需求的不断变化，所选择的系统必须能够提供最广泛的工艺参数，最高程度的可重复性，以验证工艺，并易于修改以满足新的工艺要求。PlasmaSTAR®系列干法处理系统将满足执行这些任务所需的苛刻要求。PlasmaSTAR®是一种等离子体工具，用于光刻胶的研究、工艺开发和批量生产，可用于各向同性和各向同性蚀刻、有机灰化、混合电路清洗、印刷电路板去屑、失效分析、塑料的表面处理和改性、聚合物沉积以及广泛的其他等离子体应用。


PlasmaSTAR®产品线为桶状等离子体系统提供了一种独特的新型模块化方法。PlasmaSTAR®可加工200毫米或更小的基板。(用于300mm晶圆的单晶圆RIE加工)选择经过验证的高质量组件，模块化子组件，通用腔室电极设计，紧凑的尺寸，自动化和现场验证的工艺配方将使PlasmaSTAR®成为等离子工艺工程师的“首选系统”。



PlasmaSTAR 200


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售后服务
  • 产品货期： 200天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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