法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150
法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150

法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150

参考价:面议
型号: SSDR150
产地: 法国
品牌: 埃斯科
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描述

SSDR150是最新一代MPCVD反应堆。它是坚固的设备,以满足最苛刻的要求和最多样化的应用(量子物理,电容器,辐射探测器,光学窗口,热管理…)。该反应器的设计是针对PLASSYS的解决方案,是考虑微波、等离子体和流体动力学建模的迭代研究工作的结果。这使得SSDR150反应器成为可靠而坚固的设备,完全适应研发实验室和工业的需求。


10年来,PLASSYS一直致力于提高性能或集成新功能。这使得它现在成为一种优化的广谱工具,与电子/量子应用或光学仪器的钻石受控生长兼容。


优点:

通用的平台

工艺稳定性、可重复性、可靠性、长工艺兼容性(2-3周)

高功率密度等离子体(6kW, 2.45 GHz)

温度控制

Ø60 mm基板级包括z轴运动

操作压力:20- 400mbar


南通宏腾微电子技术有限公司为您提供埃斯科法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150,埃斯科SSDR150产地为法国,属于进口化学气相沉积设备,除了法国Plassys微波等离子体化学气相沉积系统 SSDR 150的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多化学气相沉积设备,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 200天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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