| 型号： | QFLZ系列精密气浮Z轴 |
| 产地： | 北京 |
| 品牌： | 瑞邦精控 |
| 评分： |
|
产品特点
l Ÿ 非接触开式气浮结构 Ÿ 光栅尺闭环反馈
l Ÿ 重复定位精度±25nm Ÿ 直线度和平面度100nm
l Ÿ 角度误差±0.5arc sec Ÿ 可定制化设计
应用领域
QFLZ系列是一款纳米级精度的气浮Z轴，安装在XY轴上使用，用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴采用非接触式气浮导轨、直线电机驱动和光栅尺组成，开式气浮，永磁预载结构，配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精度性能
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动地平滑移动，重复定位精度±25nm，直线度和平面度±0.05μm，Pitch Yaw ±0.25arc sec，由于非接触式结构，伺服反馈的跟随误差有了质地提升，定位精度和重复精度得到了显著提高。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm；定制加速度5m/s²。
规格指标
型号 Model | 单位 Units | QFLZ-25 | |
行程 Travel | mm | 25 | |
补偿后定位精度 Accuracy | 高精版 Plus | μm | ±0.05 |
普通版 Standard | ±0.1 | ||
双向重复定位精度 Bi-Dir Repeatability | 高精版 Plus | μm | ±0.025 |
普通版 Standard | ±0.05 | ||
直线度 (1) Straightness | 高精版 Plus | μm | ±0.05 |
普通版 Standard | ±0.1 | ||
平面度 (1) Flatness | 高精版 Plus | μm | ±0.05 |
普通版 Standard | ±0.25 | ||
俯仰、翻滚、偏摆 (1) Pitch Roll Yaw | 高精版 Plus | arc sec | ±0.25 |
普通版 Standard | ±0.5 | ||
电子分辨率 Electronic Resolution (2) | nm | 0.3 或 5（选配） | |
微动步距 Min Incremental Step | 高精版 Plus | nm | ≤ 5 |
普通版 Standard | ≤ 50 | ||
定位纹波 In Position Stability | 高精版 Plus | nm | ≤ 5 |
普通版 Standard | ≤ 50 | ||
最大速度 (空载) Max Speed (No Load) (3) | mm/s | 50 | |
最大加速度 (空载) Max Acceleration (No Load) (3) | m/s² | 1,（5 定制） | |
最大负载 Max Load | kg | 5 | |
供气压力 Operating Pressure (4) | MPa | 0.5±0.05 | |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. 取决于平台安装表面的平面度。
2. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
3. 空载条件下的指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
4. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。
订购信息
型号 | QFLZ | -25 | -N | -N | -1 | -0 | -DB | -3 | -N | -N |
描述 | 开式气浮Z轴 | 行程25mm | 普通版 | 默认 | 增量式光栅1Vpp反馈 | 原点在行程中心位置 | DB接头 | 线缆长度3米 | 无大理石基座 | 无压力保护开关 |
名称 | 型号 | 描述 |
精密Z轴 | QFLZ | 开式气浮Z轴 |
行程 | -25 | 行程25mm |
精度等级 | -N -PLUS | 普通版 高精版 |
电子分辨率 | -N -0.3 -5 | 默认 电子分辨率0.3nm 电子分辨率5nm |
反馈方式 | -1 -T -ABS | 增量式光栅1Vpp反馈 增量式光栅TTL反馈 绝对式光栅反馈 |
零点位置 | -U -0 -D | 原点在行程上极限位置 零点在行程中心位置（标配） 原点在行程下极限位置 |
线缆管理 | -DB | DB接头，无线缆管理 |
线缆长度 | -3 -5 -DZ | 长度3米（标配） 长度5米 定制 |
大理石基座 | -Y -N | 有大理石基座 无大理石基座（标配） |
压力保护开关 | -Y -N | 有压力保护开关（标配） 无压力保护开关 |
相关产品
工商信息
信息已认证
关注
拨打电话
留言咨询
