一米大行程陶瓷气浮运动台

参考价：面议

核心参数

LAK系列高精密电动直线滑台

超高精密电动旋转台RAuK系列

SK13(A)-40系列不锈钢高精密手动平移台

产品详情

产品特点

l Ÿ XY轴为平面式气浮结构，减小系统误差影响

l Ÿ 横梁轴为陶瓷材质气浮导轨，超高性能精度

l Ÿ 龙门式双驱结构，承载能力强

l Ÿ Z轴纳米级定位抖动

应用领域

QFHDS-1000XY-100Z三轴精密运动台用于飞秒激光加工。

产品简介

XY轴采用平面式气浮结构，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程1000mm，直线度±1.5μm，平面度±1μm。XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，减小因叠层引起的阿贝误差。开发的气浮轴承补偿方法，提高刚性和负载能力，XY轴负载可达100kg。

Z轴采用防蠕动交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，行程100mm，定位纹波优于20nm，Z轴垂直安装到大理石龙门横梁上。

大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。

规格指标

轴系 Axis	测试项目 Test Items	单位 Units	指标 Specification
X 轴（龙门轴）	行程 Travel	mm	1000
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1
	偏摆 Yaw	arc sec	±3.5
	俯仰 Pitch	arc sec	±3.5
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
Y 轴（横梁轴）	行程 Travel	mm	1000
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±1
	偏摆 Yaw	arc sec	±3
	俯仰 Pitch	arc sec	±3
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
Z 轴	行程 Travel	mm	100
	补偿后定位精度 Accuracy	μm	±1
	双向重复定位精度Bi-Dir Repeatability	μm	±0.5
	直线度 Straightness	μm	±1.5
	平面度 Flatness	μm	±2
	工作速度 Operating Speed	mm/s	100
XY	负载 Load	kg	100
Z	负载 Load	kg	15
X-Y	垂直度Orthogonality	arc sec	3

北京瑞邦精控科技有限公司为您提供瑞邦精控一米大行程陶瓷气浮运动台QFHDS-1000XY-100Z，瑞邦精控QFHDS-1000XY-100Z产地为北京，属于国产位移台，除了一米大行程陶瓷气浮运动台的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多位移台,瑞邦精控客服电话，售前、售后均可联系。

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