布鲁克摩擦磨损试验机CMP

布鲁克摩擦磨损试验机CMP

参考价：¥1
型号： TriboLab CMP
产地： 德国
品牌： 布鲁克
评分：
核心参数
秉创科技（无锡）有限公司
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产品详情

产品优势:

• 全面再现晶圆抛光工艺条件

• 提供无与伦比的重复性

• 使用小晶片而不是整个晶圆作测试，节省大量成本



CMP工作原理示意图


• CMP过程：抛光液中的碱与硅表层发生化学反应，并生成较疏松的硅酸盐（粘附在表层，阻碍深层反应），再通过SiO2胶粒和抛光布垫的机械摩擦而脱离表面，从而实现表层剥离。此过程反复进行，从而对硅片逐层剥离，并实现对硅片的高精度抛光。

• 主要特点：化学反应--机械去除--再反应--再去除……是一种化学作用和机械作用相结合的抛光工艺（二者互相控制）。

• 优点：包含了化学、机械抛光的双重优点。



TriboLab CMP硬件构成：


TriboLab CMP功能：



1. 实时监控

• 加载力，摩擦力 （Fz,Fx)

• 抛光垫修复力（Cx,Cz)

• 声发射信号（AE）

• 温度检测（TR）

• 摩擦系数（COF）

• Z，X，Y方向的位移，速度等多个通道信号

2. 开放编程

• 测试步骤的添加，设计

• 在测试步骤中通过设置加载方式，加载力（压力/压强），转速（包含上式样，下式样转速可分开设置）抛光液流量，旋转方向等多样参数设置实现个性化实验需求；



秉创科技（无锡）有限公司为您提供布鲁克摩擦磨损试验机CMPTriboLab CMP，布鲁克TriboLab CMP产地为德国，属于进口摩擦磨损试验机，除了布鲁克摩擦磨损试验机CMP的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多摩擦磨损试验机,秉创科技客服电话400-860-5168转6273，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 30天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间： 到货后3天内
  • 电话支持响应时间： 6小时内
  • 是否提供维保合同： 是
  • 维修响应时间： 3天内
  • 节假日是否提供上门服务： 否
  • 是否支持上门巡检： 是
  • 是否提供预防性维护计划： 是
  • 是否提供期间核查方案： 是
  • 是否提供免费应用支持： 是
  • 是否提供付费应用支持： 是
  • 维修付款方式： 先维修后付款

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